半导体 | 高校实验室 | 真空镀膜 | 光电材料 |
太阳能 | 化学品制造 | 航空航天 | 汽车行业 |
资料下载
下载一、产品概述
ACU20FP采用了先进的压力测量和控制技术,能够精确控制固体前驱体的输送流量,确保沉积过程的稳定性和一致性,从而获得高质量的薄膜材料。此外,ACU20FP拥有多种控制方式和连接接口以满足多样化需求。
二、产品应用
半导体 | 高校实验室 | 真空镀膜 | 光电材料 |
太阳能 | 化学品制造 | 航空航天 | 汽车行业 |
量程范围 | 10SCCM~250SCCM |
测控范围 |
阀控范围50:1 |
准确度 |
±1%F.S |
线性 |
±0.1%F.S |
重复精度 |
±0.2%F.S |
温度系数 |
±0.02%F.S/℃ |
响应时间 |
|
流量控制器:<2s | |
数字量 | profibus协议 |
模拟量 | 0~5V、4-20mA、1~5V |
供电 | ±15VDC,24VDC |
工作温度 | 0~50℃ |
工作压力 | 工作压降:<0.01Mpa |
最大耐压 | 3MPa/10MPa |
电气连接 | DB9孔 |
漏率 | 1×10-9Pa m3/S |
温度系数 | ±0.025%F.S/℃ |
底座材质 | 不锈钢 |
密封材质 | 氟橡胶,氯丁橡胶,丁腈橡胶 |
接头 |
φ3,φ6,1/8",1/4" |
五、可选配套测控软件 (另外收取费用)