ACU20FP低蒸气压质量流量控制器
ACU20FP
低蒸气压质量流量控制器
型号:ACU20FP
产品介绍
    在制造薄膜材料过程中,传统的液体输送方法存在固体前驱体溶解度限制的问题,导致无法输送足够的材 料,从而影响生产效率。ACU20FP低蒸气压质量流量控制器,专为薄膜工艺而设计,能够精确控制固体前驱 体输送到化学气相沉积(CVD)反应器。
产品应用
半导体  高校实验室  真空镀膜  光电材料
太阳能  化学品制造  航空航天  汽车行业 

资料下载

下载
  • 一、产品概述

    ACU20FP采用了先进的压力测量和控制技术,能够精确控制固体前驱体的输送流量,确保沉积过程的稳定性和一致性,从而获得高质量的薄膜材料。此外,ACU20FP拥有多种控制方式和连接接口以满足多样化需求。


    二、产品应用


    半导体  高校实验室  真空镀膜  光电材料
    太阳能  化学品制造  航空航天  汽车行业 

    三、产品参数

    量程范围 10SCCM~250SCCM
    测控范围 阀控范围50:1
    准确度
    ±1%F.S   
    线性
    ±0.1%F.S
    重复精度
    ±0.2%F.S
    温度系数 ±0.02%F.S/℃
    响应时间

    流量控制器:<2s
    数字量 profibus协议
    模拟量 0~5V、4-20mA、1~5V
    供电 ±15VDC,24VDC
    工作温度 0~50℃
    工作压力 工作压降:<0.01Mpa
    最大耐压 3MPa/10MPa
    电气连接 DB9孔
    漏率 1×10-9Pa m3/S
    温度系数 ±0.025%F.S/℃
    底座材质 不锈钢
    密封材质 氟橡胶,氯丁橡胶,丁腈橡胶
    接头 φ3,φ6,1/8",1/4"


    四、产品尺寸




    五、可选配套测控软件 (另外收取费用)

            质量流量测控系统V5.0