气体流量控制器在半导体行业的应用

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气体流量控制器在半导体行业的应用

2022-04-14 10:15:25

ACU10FD系列产品专门为半导体设备设计，其主要特点是产品稳定性好、精度高、零漂小、响应速度快。同时考虑到半导体设备对于颗粒和污染的高要求，产品所有与气体接触的表面均为金属，同时所有与气体接触的金属表面均进行了严格的表面处理，并且所有产品均在洁净环境中组装、标定。产品同时支持数字、模拟电压、模拟电流的信号输入和输出，支持MODBUS485/232等通讯协议，客户可以根据自己的需要选择使用。

同时ACU10FD系列产品重点考虑了产品的抗干扰能力，产品可以抵抗较强的电磁干扰。

气体流量控制器在半导体行业的应用

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