一、产品概述

◆热式原理，响应快，精度高

ACU10FA 质量流量控制器由质量流量传感器，层流分层件，流量控制器调节阀和放大控制电路等部件组成。它利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成。

ACU10FA 采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。

二、产品应用

三、产品参数

四、产品尺寸图

（ACU10FA-LM质量流量计）

五、配套设备（需另外购买）

ACU10FA-XS型流量显示仪可为模拟型质量流量计提供工作电源，流量设定（手动操作控制），流量显示等操作。

六、其他型号推荐




ACU10FA-LM模拟型质量流量计（低量程）（5SCCM~30SLM）

ACU10FA-LC模拟型质量流量控制器（低量程）（2SCCM~30SLM）
ACU10FA-MM模拟型质量流量计（中量程）（30SLM~150SLM）

ACU10FA-MC模拟型质量流量控制器（中量程）（30SLM~150SLM）
ACU10FD-LM数字型质量流量计（低量程）（100SCCM~30SLM）

ACU10FD-LC数字型质量流量控制器（低量程）（100SCCM~30SLM）

ACU10FD-MM数字型质量流量计（中量程）（30SLM~300SLM）

ACU10FD-MC数字型质量流量控制器（30SLM~300SLM）

ACU10FD-BM数字型质量流量计（500SLM~3000SLM）

ACU10FD-BC数字型质量流量控制器（500SLM~3000SLM）