一、产品概述
ACU20PCD双阀压力控制器集成两个电磁阀,进气阀将过程气体引入腔体,保持密闭空间的压力,压力过高时,泄压阀自行打开进行泄压,快速精准地控制压力的稳定,同时避免气体浪费。
ACU20PCD标配一个压力传感器和数字电路板,提供高精度、快速稳定、可靠的压力控制,该PC数字板具有控制压力所需的所有功能。除了配备标准的RS485输出信号,ACU20PCD还提供模拟量输入/出信号,可通过调节设定值就能精准的控制整个工艺过程。同时,可触控显示屏使操作更加便捷。ACU20PCD双阀压力控制器可装配一体式控制阀或分体式控制阀。它是一种比例式电磁控制阀,具有超快和平稳控制的特性。我们有不同系列的控制阀对应特定的应用领域。常规应用使用标准的直接操控阀,高流速应用使用先导阀,稳压和泄压应用双阀。
二、产品应用
应用领域:半导体生产、科研实验、生物医药、能源化工、泄漏测试、燃料电池、真空镀膜及过程控制等。
三、产品参数
技术参数
精度(包括线性和滞后性)
±0.5%F.S
压力控制器
1:50
重复性
≤0.1%
传感器响应时间
0.2s
控制稳定性
≤±0.05%F.S(测定条件:1 L/min N2)
运行温度
-10~+70℃
温度敏感性
0.1%FS/℃
漏率
1×10-9 SCCS He
方位影响度
(90°变化)
<0.03 KPa(绝压/表压传感器)
<0.6 KPa(差压传感器)
预热时间
忽略不计
机械部件
材质
不锈钢
工艺连接
G3/8"
密封材质
氟橡胶/丁腈橡胶/氯丁橡胶/其他
防护等级(外壳)
IP40
电气特性
电源
15~24Vdc
数字输出
RS485/RS232
电气连接
DB9
四、产品尺寸图
五、可选配套测控软件 (另外收取费用)