一、产品概述
ACU20PCD双阀压力控制器集成两个电磁阀,进气阀将过程气体引入腔体,保持密闭空间的压力,压力过高时,泄压阀自行打开进行泄压,快速精准地控制压力的稳定,同时避免气体浪费。
ACU20PCD标配一个压力传感器和数字电路板,提供高精度、快速稳定、可靠的压力控制,该PC数字板具有控制压力所需的所有功能。除了配备标准的RS485输出信号,ACU20PCD还提供模拟量输入/出信号,可通过调节设定值就能精准的控制整个工艺过程。同时,可触控显示屏使操作更加便捷。ACU20PCD双阀压力控制器可装配一体式控制阀或分体式控制阀。它是一种比例式电磁控制阀,具有超快和平稳控制的特性。我们有不同系列的控制阀对应特定的应用领域。常规应用使用标准的直接操控阀,高流速应用使用先导阀,稳压和泄压应用双阀。
二、产品应用
应用领域:半导体生产、科研实验、生物医药、能源化工、泄漏测试、燃料电池、真空镀膜及过程控制等。
三、产品参数
技术参数 | 精度(包括线性和滞后性) | ±0.5%F.S | |||
压力控制器 | 1:50 | ||||
重复性 | ≤0.1% | ||||
传感器响应时间 | 0.2s | ||||
控制稳定性 | ≤±0.05%F.S(测定条件:1 L/min N2) | ||||
运行温度 | -10~+70℃ | ||||
温度敏感性 | 0.1%FS/℃ | ||||
漏率 | 1×10-9 SCCS He | ||||
方位影响度 (90°变化) |
<0.03 KPa(绝压/表压传感器) | ||||
<0.6 KPa(差压传感器) | |||||
预热时间 | 忽略不计 | ||||
机械部件 | 材质 | 不锈钢 | |||
工艺连接 | G3/8" | ||||
密封材质 | 氟橡胶/丁腈橡胶/氯丁橡胶/其他 | ||||
防护等级(外壳) | IP40 | ||||
电气特性 | 电源 | 15~24Vdc | |||
通讯协议 | profinet协议 | ||||
电气连接 | DB9 |
四、可选配套测控软件 (另外收取费用)