ACU20FP低蒸气压质量流量控制器

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ACU20FP
低蒸气压质量流量控制器

2024-12-17 16:48:10

一、产品概述

ACU20FP采用了先进的压力测量和控制技术，能够精确控制固体前驱体的输送流量，确保沉积过程的稳定性和一致性，从而获得高质量的薄膜材料。此外，ACU20FP拥有多种控制方式和连接接口以满足多样化需求。

二、产品应用

半导体	高校实验室	真空镀膜	光电材料
太阳能	化学品制造	航空航天	汽车行业

三、产品参数

量程范围	10SCCM～250SCCM
测控范围	阀控范围50:1
准确度	±1%F.S
线性	±0.1%F.S
重复精度	±0.2%F.S
温度系数	±0.02%F.S/℃
响应时间
响应时间	流量控制器：<2s
数字量	profibus协议
模拟量	0～5V、4-20mA、1～5V
供电	±15VDC，24VDC
工作温度	0～50℃
工作压力	工作压降：<0.01Mpa
最大耐压	3MPa/10MPa
电气连接	DB9孔
漏率	1×10^-9Pa m3/S
温度系数	±0.025%F.S/℃
底座材质	不锈钢
密封材质	氟橡胶，氯丁橡胶，丁腈橡胶
接头	φ3，φ6，1/8"，1/4"

四、产品尺寸

五、可选配套测控软件 （另外收取费用）

质量流量测控系统V5.0

ACU20FP低蒸气压质量流量控制器

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