ACU20PCD双阀压力控制器集成两个电磁阀,进气阀将过程气体引入腔体,保持密闭空间的压力,压力过高时,泄压阀自行打开进行泄压,快速精准地控制压力的稳定,同时避免气体浪费。
ACU20FDL液体质量流量控制器由质量流量传感器,流量控制器调节阀和放大控制电路等部件组成。它利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成。采用定制的高速比例控制阀对液体体积流量/质量流量进行精确控制。
ACU20FD数字型质量流量计由质量流量传感器,层流分层件,流量控制器调节阀和放大控制电路组成,采用数字信号输入输出,具有预热时间短,零漂小,可靠性高等特点。
ACU20FD数字型质量流量计由质量流量传感器,层流分层件,流量控制器调节阀和放大控制电路组成,采用数字信号输入输出,具有预热时间短,零漂小,可靠性高等特点,最高可耐压40MPa。
ACU10FD实现三进二出七路混合配气系统
药剂定量控制及数据记录报警系统