太湖之滨，启新程。2026年8月31日至9月2日，第十四届半导体设备材料及核心部件展（CSEAC 2026）于无锡太湖国际博览中心盛大启幕。全球半导体产业同仁汇聚于此共探产业技术创新与高质量发展新机遇。
一、聚焦行业前沿 精彩亮相
北京精量科技有限公司（以下简称“ACCU”）作为精密流体测控领域的专业制造商，携核心产品与定制化解决方案重磅亮相本次盛会，依托自主核心技术，彰显展现国产精密流体测控设备的硬核实力。
二、精准适配严苛工艺需求
在半导体制造工艺中，气体质量流量控制器（MFC）是光刻、化学气相沉积（CVD）、刻蚀、离子注入、扩散等核心工序的关键核心部件。其测控精度、稳定性与响应速度，直接决定晶圆膜层均匀性，深刻影响芯片良品率与产品性能，是半导体前道制造中不可或缺的核心设备。
展会上，ACCU集中展示涵盖气体质量流量控制器/流量计、科里奥利质量流量控制器/流量计、压力控制器、气液混合蒸发器在内的系列核心产品。
其中，自主研发的ACU20FE系列科里奥利质量流量控制器基于经典科里奥利原理，该产品无热漂移，温漂与时漂可忽略不计，气体测量精度达±0.5%F.S.，液体测量精度达±0.25%F.S.，量程覆盖0~(20g/h...1000kg/h)，适配宽范围流量工况。即使面对压力、温度、密度、电导率和粘度等复杂工况波动下，依旧能保持稳定、精准的测控性能。同时展出的ACU20P系列压力控制器采用直通式结构设计，压力控制的量程范围从100Pa到40MPa（绝压和表压皆可），具备精确度高、重复性好、快速稳定等核心优势，同时设备兼容RS485/232 Modbus、Profibus、DeviceNet等多种数字通讯协议，可快速适配各类产线设备。
此外，ACU20CEM气液混合蒸发系统也引发广泛关注。该系统由液体流量控制器、气体质量流量控制器、温度可调混合蒸发器等组成，通过先进控制技术实现液体流量、载气流量与蒸发温度的精密测控，长期运行下气液摩尔比保持稳定无偏移，完美适配半导体薄膜沉积等高精度气液混合工艺场景。
三、核心器件自主可控
硬核产品的背后，是ACCU深厚的自主研发实力与技术积淀。公司不仅具备高水平的研发能力，拥有多项发明专利与软件著作权，更实现核心器件的全面自主可控。目前，ACCU自主生产研发了应用于科里奥利、热式、层流差压式三大原理的高精度质量流量控制器/质量流量计，以及工业级精密压力控制器，已广泛应用于半导体制造、光伏新能源、氢能、环保、生物医药、石油化工、核能电力等国家重点发展领域，可全面覆盖实验室研发、规模化量产的全场景精密流体测控需求。
展会期间，ACCU展台持续保持高人气。业界专家、晶圆制造企业代表、科研院所团队及专业观众络绎而至，众多访客驻足展台，深度咨询产品技术参数、工艺适配方案及落地应用案例，围绕精密流体测控技术展开深入研讨，多家企业表达明确合作意向，充分印证了ACCU在半导体前道高端装备领域扎实的技术实力与持续提升的行业影响力。
四、展会落幕 步履不停
未来，ACCU将始终以技术创新为核心引擎、产业协同为发展路径，持续深耕半导体前道核心技术攻坚，聚焦半导体设备复杂工况需求，始终专注于精密流体测控的自主研发与制造。针对不同介质、高精度需求、真空及高压等差异化工况，ACCU可提供定制化流体测控解决方案，全面覆盖半导体晶圆加工、真空设备、新能源等核心应用场景，全方位兼顾设备运行稳定性、测控精准度与场景适配性。
展会落幕，初心不改，步履不停。ACCU将继续深耕精密流体测控赛道，坚守自主创新、精益求精的研发理念，打磨硬核产品，以可靠的技术与产品，为中国半导体产业升级，为中国芯片高质量发展贡献力量。
精量科技作为专业的过程仪表和自动化控制设备供应商，坚持“创新科技，服务全球”的经营理念，旨在生产高品质高技术高精度的产品，专业于流量测量，应用广泛分布于玻璃、冶金、环保、配气置气仪器分析、石油石化等领域。
精量科技作为专业的过程仪表及自动化控制设备供应商，在实际应用中可为您提供多种解决方案，选择合适的仪表并提供选型帮助。
全国销售热线：400-005-7868
QQ咨询
在线留言
186 0136 4771
