ACU20FDR双阀气体质量流量控制器由质量流量传感器,层流分层件,两个低压损阀和放大控制电路组成,采用数字信号输入输出,具有预热时间短,零漂小,可靠性高等特点。
ACU20FD数字型质量流量控制器由质量流量传感器,层流分层件,流量控制器调节阀和放大控制电路组成,采用数字信号输入输出,具有预热时间短,零漂小,可靠性高等特点。
ACU20PCD双阀压力控制器集成两个电磁阀,进气阀将过程气体引入腔体,保持密闭空间的压力,压力过高时,泄压阀自行打开进行泄压,快速精准地控制压力的稳定,同时避免气体浪费。
科里奥利质量流量计因其测量精确性和不受流体特性影响的特征而备受推崇。ACU20FE将这项技术应用于非常低的流量测量,并且内部集成PID控制器和批量功能,实现流量控制或者定量给料。
ACU10FD-BC在半导体行业的应用