热式气体质量流量控制器与其他类型的流量控制器在原理、应用、优缺点等方面存在一些差异。
热式流量计基于热扩散原理,使用两只标准级的RTD,一只用于发热,另一只用于测量流体温度。当流体流动时,两者之间的温度差与流量的大小成线性关系,通过微电子控制技术转换为测量流量信号的线性输出。这种流量计的优点是可自动化集成度高、产品精度好、稳定性和重复性优于其他类型的流量控制器。实际使用中发现,当输入的气体不同时,控制显示的数值与实际不符,原因在于气体转换系数(CF)的不同。
根据法拉第电磁感应定律进行流量测量。其优点是压损极小,可测流量范围大,精确度较高。但它不能测量气体、蒸汽以及纯净水的流量。