随着新能源、新材料、半导体等产业的蓬勃发展，气体流量测量与控制精度的要求日益严苛。产线不仅要实现微小流量的精准调控，还需应对腐蚀性、高纯度等特殊介质的挑战。在这一背景下，金属密封气体质量流量控制器作为关键的基础元器件，在诸如气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、清洗机等核心工艺设备中发挥着关键性作用。

ACCU专注于精密流体流量的测量与控制，旗下自主研发的20FD系列高精度金属密封气体质量流量计/流量控制器，基于热式毛细管温差量热法原理，直接测量气体质量流量，测量值不受温度和压力波动的干扰。

▲20FD-LC高精度质量流量控制器DeviceNet™协议

20FD系列具备宽流量范围，标准量程范围：0~（2SCCM...10000SLM），支持非标定制。精度可达±0.5%F.S，兼具预热时间短，零漂小，快速响应和长期稳定性等特点。其管状分流结构不易堵塞。20FD系列支持模拟量输入/输出，多种数字通讯模式RS232/485Modbus协议、PROFIBUS、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 可选。适配产线各种通讯架构，也可使用二次表或流量计算机控制和显示流量，实现远程、自动化操作。

密封材质与耐腐蚀选型：
气体质量流量控制器的耐腐蚀能力、工艺安全性与使用寿命，核心取决于密封结构与密封材质，也是工况选型的关键依据。ACU20FD气体质量流量控制器可以用于控制各种气体, 与工艺气体接触的部件通常采用316L不锈钢搭配金属密封或弹性密封：

1、金属密封：

▲20FD-LC高精度金属密封气体质量流量控制器

一般使用不锈钢、金、镍等高耐腐蚀材质，理论上可兼容任何气体，包括各类腐蚀性气体与高纯特种气体。对于三溴化硼（BBr₃）、三氯化硼（BCl₃）等强腐蚀性介质，以及MOCVD工艺中使用的金属有机化合物，推荐采用ACU20FD金属密封质量流量控制器，采用定制全金属密封结构，专为需要精确气体流量控制的工业应用而设计，能够有效抵抗腐蚀性气体侵蚀，降低污染物和颗粒物吸附对气体纯度的影响，为高纯度气体应用提供高精度和可靠性高的测控方案。

2、弹性密封：

橡胶弹性体密封适配惰性、轻度腐蚀性常规工艺气体。因成本较低，常用采用氟橡胶（FKM），可耐受多数含量较低的干燥酸性、碱性的气体及卤素气体。但面对酸碱度比较明显的、以及特殊腐蚀性气体时，必须精准匹配专用橡胶，例如：氨气需选用耐氨橡胶（如乙丙橡胶）；三溴化硼、三氯化硼则需要成本较高的全氟醚橡胶（FFKM）。

凭借精准的工况适配能力与可靠的产品品质，20FD系列质量流量控制器已应用于各类高端制造产线，为众多合作伙伴提供定制化流体测控解决方案，收获广泛认可。

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